1. 챔버 : 200A(STS304)

2. LAMP : 75W*4EA

3. IN/OUT : 50A FLANGE

4. 콘트롤판넬 : 600*250*900H(STS304)

5. 옵션 : 1) 석영관자동세척장치

          2) PLC

          3) 터치스크린